Search academic texts

Information × Registration Number 0593U000413, Doctoral dissertation Status д.ф.-м.н. Date 26-11-1993 popup.evolution o Title Author Шаховцов Валерий Иванович, popup.opponent Шейнкман М.К. popup.opponent Стриха В.И. popup.opponent Литовченко П.Г. Description Объект исследования: Кристаллы кремния, германия и их твердые растворы и неоднородные структуры на их основе. Цель исследования: Изучение влияния радиации на полупроводники и структуры твердотельной электроники на их основе. Методы исследования и аппаратура: ИК поглощение, ЭПР, емкостная спектроскопия, Эффект Холла, электропроводность, электронная микроскопия. Теоретические результаты и новизна: Диффузионное приближение в теории рассеяния, расчеты дозовых зависимостей концентрации дефектов. Практические результаты и новизна: Методы повышения радиационной стойкости кремния, разработка радиационно-технологических процессов в промышленности. Предмет и степень внедрения: Радиационная технология внедрена на 7 предприятиях. Эффективность внедрения: Внедрена в массовом серийном производстве. Сфера (область) использования: Физика твердого тела, твердотельная технология. Registration Date 1993-03-13 popup.nrat_date 2021-03-17 Close