Registration Number
0593U000413, Doctoral dissertation
Status
д.ф.-м.н.
Date
26-11-1993
popup.evolution
.
Title
Author
Шаховцов Валерий Иванович,
popup.opponent Шейнкман М.К.
popup.opponent Стриха В.И.
popup.opponent Литовченко П.Г.
popup.rada
Description
Объект исследования: Кристаллы кремния, германия и их твердые растворы и неоднородные структуры на их основе. Цель исследования: Изучение влияния радиации на полупроводники и структуры твердотельной электроники на их основе. Методы исследования и аппаратура: ИК поглощение, ЭПР, емкостная спектроскопия, Эффект Холла, электропроводность, электронная микроскопия. Теоретические результаты и новизна: Диффузионное приближение в теории рассеяния, расчеты дозовых зависимостей концентрации дефектов. Практические результаты и новизна: Методы повышения радиационной стойкости кремния, разработка радиационно-технологических процессов в промышленности. Предмет и степень внедрения: Радиационная технология внедрена на 7 предприятиях. Эффективность внедрения: Внедрена в массовом серийном производстве. Сфера (область) использования: Физика твердого тела, твердотельная технология.
Registration Date
2000-03-13
popup.nrat_date
2021-03-18 / 2026-06-30
