Добкторська дисертація. Шаховцов Валерий Иванович. Исследование радиационных эффектов в неоднородных структурах твердотельной электроники

Реєстраційний номер

0593U000413, Докторська дисертація

На здобуття

д.ф.-м.н.

Дата захисту

26-11-1993

Статус

Захищена

Назва роботи

Исследование радиационных эффектов в неоднородных структурах твердотельной электроники

Здобувач

Шаховцов Валерий Иванович,

Опонент Шейнкман М.К.
Опонент Стриха В.И.
Опонент Литовченко П.Г.

Установа, організація, у вченій раді якої відбудеться/відбувся захист

Научно-производственный центр "Пролог"

Опис

Объект исследования: Кристаллы кремния, германия и их твердые растворы и неоднородные структуры на их основе. Цель исследования: Изучение влияния радиации на полупроводники и структуры твердотельной электроники на их основе. Методы исследования и аппаратура: ИК поглощение, ЭПР, емкостная спектроскопия, Эффект Холла, электропроводность, электронная микроскопия. Теоретические результаты и новизна: Диффузионное приближение в теории рассеяния, расчеты дозовых зависимостей концентрации дефектов. Практические результаты и новизна: Методы повышения радиационной стойкости кремния, разработка радиационно-технологических процессов в промышленности. Предмет и степень внедрения: Радиационная технология внедрена на 7 предприятиях. Эффективность внедрения: Внедрена в массовом серийном производстве. Сфера (область) использования: Физика твердого тела, твердотельная технология.

Дата реєстрації

2000-03-13

Додано/оновлено в НРАТ

2021-03-18 / 2026-06-30