Search academic texts

Information × Registration Number 0595U000324, Doctoral dissertation Status д.ф.-м.н. Date 27-10-1995 popup.evolution o Title Author Прокопенко Игорь Васильевич, popup.opponent Молодкин В.Б. popup.opponent Сальков Е.А. popup.opponent Григорьев О.М. Description Объект исследования: Полупроводниковые монокристаллы и эпитаксиальные системы. Цель исследования: Определение параметров структурного совершенства. Методы исследования и аппаратура: Измерение параметров кривых дифракционного отражения рентгеновских лучей, УРС-50И, ДРОН-3М, УРС-2,0. Теоретические результаты и новизна: Теоретический анализ аномального поведения параметров кривой дифракционного отражения - впервые. Практические результаты и новизна: Разработаны методы построения картограмм упругих дисторсий атомных плоскостей и плотности дефектов в полупроводниковых монокристаллах при анализе фриделевских пар отражения рентгеновских лучей - впервые. Предмет и степень внедрения: Структурные изменения в полупроводниковом материале при технологических обработках - выборочный контроль. Эффективность внедрения: Установлено влияние технологических обработок на электрофизические параметры СВЧ-транзисторов и диодов в зависимости от плотности дефектов. Сфера (область) использования: Контроль технологических параметров материалов и приборов. Registration Date 1995-10-27 popup.nrat_date 2020-05-17 Close