Реєстраційний номер
0203U008834,
0101U004340
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Moдульна установка плазмово-фотостимульованого формування плівок з надтвердих матеріалів.
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Литовченко Володимир Григорович,
Дата реєстрації
30-12-2003
Організація виконавець
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України
Опис етапу
На основі запропонованих конструкторських і наукових підходів виготовлено експериментальний зразок установки, проведено її наладку та випробовування. Виготовлено експериментальну партію алмазоподібних вуглецевих плівок та, з метою оптимізації технологічних режимів осадження та вивчення механізмів формування плівок, досліджено вплив умов осадження на їх оптичні, механічні та емісійні властивості.
Опис продукції
Автори роботи
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-03
