Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0203U008834, 0101U004340 , Науково-дослідна робота Назва роботи Moдульна установка плазмово-фотостимульованого формування плівок з надтвердих матеріалів. Назва етапу роботи Керівник роботи Литовченко Володимир Григорович, Дата реєстрації 30-12-2003 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу На основі запропонованих конструкторських і наукових підходів виготовлено експериментальний зразок установки, проведено її наладку та випробовування. Виготовлено експериментальну партію алмазоподібних вуглецевих плівок та, з метою оптимізації технологічних режимів осадження та вивчення механізмів формування плівок, досліджено вплив умов осадження на їх оптичні, механічні та емісійні властивості. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити