Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0214U008550, 0113U006112 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення нанотехнологій молекулярно-променевої епітаксії та сфокусованих іонних пучків для їх використання на виробництві нанотехнологічного комплексу "НаноФАБ" (третя черга) Назва етапу роботи Керівник роботи Галстян Геворк Гагікович, Дата реєстрації 19-06-2014 Організація виконавець Публічне акціонерне товариство "Науково-виробничий концерн "Наука" Опис етапу Проведено оптимізацію системи активного віброзахисту модуля скануючої зондової мікроскопії з врахуванням додатково встановлюваних модулів. Розроблено робочий проект інфраструктури для забезпечення функціонування модуля молекулярно-променевої епітаксії (МПЕ) (системи забезпечення необхідних кліматичних умов і віброзахисту, тощо) в складі нанотехнологічного комплексу "НаноФаб-100". Розроблено функціональну схему модуля МПЕ нанотехнологічного комплексу "НаноФаб". Розраховані основні параметри вакуумної системи модуля МПЕ та розроблено ескізну конструкторську документацію з врахуванням наявності допоміжних камер (крім основної камери епітаксійного росту). Проведені випробування та калібрування модуля скануючої зондової мікроскопії (СЗМ) з використанням контактних методик атомно-силової мікроскопії (АСМ) та скануючої тунельної мікроскопії (СТМ), які показали, що система повністю забезпечує необхідні умови експлуатації як модуля СЗМ, так і НТК в цілому стосовно рівнів вібрації в діапазоні частот від 1 до 1000 Гц. Розроблена методика транспортування зразків для забезпечення переміщення технологічних пластин між модулем МПЕ та камерами нанотехнологічного комплексу "Нанофаб-100" без розгерметизації комплексу через модуль СЗМ, а також альтернативна методика завантаження зразків через камеру підготовки. Реалізовано з деякими уточненнями інфраструктуру для модуля МПЕ з урахуванням технічних вимог для модулів СФІП та МПЕ в складі нанотехнологічного комплексу. Опис продукції Вакуумна система модуля молекулярно-променевої епітаксії (МПЕ) призначена для забезпечення високого рівню вакууму і чистоти в камері при проведенні широкого спектру наукових досліджень і розробок, а також пілотного виробництва в області молекулярно-променевої епітаксії нітридів ІІІ групи з використанням аміаку в якості джерела активного азоту. Модуль МПЕ у складі нанотехнічного комплексу "Нанофаб-100" забезпечує можливість вирощування епітаксійних шарів на основі вказаної системи напівпровідникових матеріалів для створення різноманітних типів гетероструктур для мікро- та оптоелектроніки. Конструкція модуля МПЕ дає можливість використовувати в якості джерела компонентів росту класичні ефузійні комірки, що завантажуються твердими матеріалами, а також газове джерело аміаку. Умови застосування виробу - нормальні, лабораторні. Автори роботи Євсюков А.М. Анікеєв В.В. Бонковський Е.Л. Ваків О.В. Ворона С.П. Галстян Г.Г. Глуховська Ю.Ю. Голуб В.В. Гуренко В.О. Джежеря Ю.І. Журавльов Б.Х. Клименко Л.П. Котовський В.Й. Лєпєєва Ю.В. Лаунець В.Л. Лобода З.В. Лукін П.В. Луценко Г.В. Мартинюк І.Д. Мовчан Д.М. Райгородецька Ю.Г. Скоблік О.П. Сухов М.Є. Філатов С.А. Філатова В.С. Хабаєв П.В. Хмилєвська О.В. Юріліна Н.А. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити