Реєстраційний номер
0215U001330,
0113U000446
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розробка, створення і дослідження нового покоління багатошарових нанорозмірних плівкових композицій для рентгенівської оптики
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Кондратенко Валерій Володимирович,
Дата реєстрації
12-02-2015
Організація виконавець
Національний технічний університет "Харківський політехнічний університет"
Опис етапу
Об'єкт дослідження: нанорозмірні багатошарові покриття з нанометровою та субнанометровою товщиною шарів (Sb, TaSi2, Si, C, B4C), їх структурні та субструктурні особливості, особливості формування міжфазних меж розподілу. Мета роботи: розробка фізико-технологічних основ створення та дослідження нових рентгенооптичних елементів на основі нанотовщинних багатошарових матеріалів. Методи дослідження: малокутова рентгенівська дифрактометрія, рентгенівський фазовий аналіз, високороздільна електронна просвічувальна мікроскопія з використанням технології поперечних зрізів, скануючи електронна мікроскопія, рефлектометрія у м'якому рентгенівському діапазоні. Отримані дані про структуру, щільність, міжшарову взаємодію наношарів у багатошарових композиціях Co/C, Sb/B4C, Si/C, W5Si3/Si, TaSi2/Si у залежності від параметрів магнетронного напилення та температури відпалу. Зроблено докладний опис необхідного розподілу товщини кожного шару у багатошарових кристалах-аналізаторах для СРМ-35 і СПРУТ. Підібрані технологічні параметри магнетронного нанесення, іонного зрізання та корекційних відпалів нанотовщинних багатошарових покриттів для оптичних елементів. Виготовлені експериментальні зразки лінійних зонних платівок з багатошарового покриття TaSi2/Si, широкосмугових рентгенівських дзеркал Sb/B4C, багатошарових кристалів-аналізаторів, багатошарових дзеркал Sb/B4C, та отримані дані про їхні рентгенооптичні характеристики. Встановлені особливості формування багатошарових нанорозмірних плівкових композицій C/Si.
Опис продукції
Були виготовлені багатошарові плівкові покриття з таких пар матеріалів Co-C, Sb-B4C, Si-C, W5Si3-Si, TaSi2-Si з мінімальною шорсткістю, міжфазною взаємодією і механічними напруженнями в порівнянні з іншими парами матеріалів.
Автори роботи
Бугаєв Єгор Анатолійович
Девизенко Олександр Юрійович
Журавель Ігор Олександрович
Зубарєв Євгеній Миколайович
Конотопський Леонід Євгенійович
Копілець Шгор Анатолійович
Мишньова Надія Кузмінічна
Першин Юрій Павлович
Севрюков Деніс Валерійович
Севрюкова Вікторія Анатолійовна
Стесіков Ілля
Чумак Віталій
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
