Пошук академічних текстів

Реєстраційний номер

0223U000912, , Науково-дослідна робота

Назва роботи

Принципи формування діелектричних наноструктурних покриттів з оксинитридів перехідних металів методом реактивного іонно-плазмового синтезу.

Керівник роботи

Дудін Станіслав Валентинович,

Дата реєстрації

21-01-2023

Організація виконавець

Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна

Опис

 Вивчено процеси в реактивній плазмі під час магнетронного осадження оксинітриду танталу з ICP-активацією реактивного газу залежно від частки кисню. Представлені результати спектроскопічного дослідження оптичного випромінювання з плазми та мас-спектрометрії газового складу у вакуумній камері у відповідь на запалювання магнетронного розряду та індуктивно зв'язаної плазми. Проведено дослідження розрядних характеристик нової комбінованої низькоенергетичної іонно-променевої - магнетронної розпорошувальної системи. Досліджено фізико-механічні властивості складнокомпозиційних плівок системи Ta-O-N різних складу та структури та визначено оптимальні енергетичні умови формування плівок із найкращими фізикомеханічними характеристиками. Досліджено морфологію поверхні та топографію покриттів TaON вивчали за допомогою атомно-силової та електронної скануючої мікроскопії, а структуру, хімічний склад та розподіл елементів аналізували методами EDX, XRD та XPS. Вивчено вплив структурно-морфологічних властивостей поверхні плівок Ta, Ta2O5 та оксинітриду TaON на функціональні характеристики керамічних покриттів та їх кореляцію з адгезією тромбоцитів у тестах in vitro. Результати випробувань in vitro продемонстрували, що осадження покриттів на основі Та призводить до зміщення властивостей поверхні в більш гідрофобну область, що призводить до зниження адгезії тробоцитів і підвищення антимікробних властивостей у порівнянні з нержавіючої сталлю. Зроблено висновок, що покриття TaN і TaON, які мають особливий комплекс механічних і трибологічних властивостей, можуть бути використані як верхній шар для стентів.

Опис продукції