Пошук академічних текстів

Реєстраційний номер

0598U000300, Докторська дисертація

Назва роботи

Термоиндуцированный массоперенос в поверхностных слоях и на границах раздела плоскослоистых систем на основе переходных металлов

Здобувач

Волошко Светлана Михайловна,

На здобуття

д.ф.-м.н., 01.04.18, Фізика і хімія поверхні

Дата захисту

01-10-1998

Опис

Объект исследования: Пленочные системы с металлическими и металлоксидными слоями. Цель исследования: Установление закономерностей термоиндуцированного массопереноса при относительно низких температурах (373-923К). Методы исследования и аппаратура: Электронная оже-спектроскопия (09ИОС-10-005), масс-спектрометрия вторичных ионов (МС7201), рентгенография (ДРН-2М). Теоретические результаты и новизна: Разработаны модели термоиндуцированного массопереноса с учетом влияния процессов на внешней поверхности пленок. Практические результаты и новизна: Предложены методы расчета коэффициентов диффузии каждого компонента плоскослоистых систем и получены количественные диффузионные параметры по экспериментальным данным. Предмет и степень внедрения: Публикации в международных и отечественных журналах. Эффективность внедрения: Можно использовать при получении многослойных пленочных систем с заданными свойствами. Сфера (область) использования: Микроэлектроника, нанотехнологии.