Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0100U000165, Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка дослідно-промислової установки та технології ультрафіолетової літографії GaAs структур субмікронних розмірів Керівник роботи Оболонський Валерій Олександрович, Дата реєстрації 20-03-2000 Організація виконавець Державний науково-дослідний центр "Фонон" Опис роботи Розробка та створення лабораторного зразка дослідно-промислової установки та технології ультрафіолетової літографії GaAs структур, які спроможні забезпечити одержання елементів субмікронних розмірів Додано в НРАТ 2024-12-13 Закрити