Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0104U003157, ( 0207U005086  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Дослiдження динамiки iонно-променевих та ВЧ розрядних плазмових систем у комбiнованих електричному та магнiтному полях Керівник роботи Толок В.Т., Дата реєстрації 19-03-2004 Організація виконавець Науковий фiзико-технологiчний центр Мiнiстерства освiти i науки та НАН України Опис роботи Мета роботи-комплексне експериментальне i теоретичне дослiдження особливостей динамiки та кiнетики плазми iонно-пучковоµ системи на основi розряду постiйного струму у схрещених електричному та магнiтному полях при низькому тиску, а також комбiнованого ВЧ iндукцiйно-імнiсного розряду, як фiзичноµ основи для створення ефективних керованих пристроµв iонно-променевого та плазмово-хiмiчного травлення в технологiµ мiкроелектронiки Додано в НРАТ 2024-12-11 Закрити