Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0106U004500, ( 0209U005506  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Діагностика функціональних шарів у виробах мікрооптики і наноелектроніки, отриманих електронними технологіями Керівник роботи Ващенко В'ячеслав Андрійович, Дата реєстрації 06-04-2006 Організація виконавець Черкаський державний технологічний університет Опис роботи Розробка комплексу обладнання і методик, на базі атомно-силової мікроскопії, для діагностики поверхонь і функціональних шарів в оптичних матеріалах, які отримані електронним методом Додано в НРАТ 2024-12-11 Закрити