Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0107U006284, Науково-дослідна робота Назва роботи Формування упорядкованих субмікронних та наноструктур при імпульсному плазмовому опроміненні Керівник роботи Гаркуша Ігор Євгенійович, Дата реєстрації 07-08-2007 Організація виконавець Національний науковий центр "Харківський фізико-технічний інститут" НАН України Опис роботи Розробка наукових основ технології та засобів створення упорядкованих структур розмірами 10^-7 - 10^-9 м на поверхні напівпровідників та окисневих матеріалів нового покоління у полях середньо-енергетичної плазми. Синтез та дослідження упорядкованих субмікронних та наноструктур на поверхні напівпровідникових та діелектричних матеріалів під дією плазмового опромінення. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити