Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0110U001258, ( 0211U007032  0212U000357  0213U002356  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Синтез нанорозмірних плівок нітридів перехідних металів іонно-плазмовими методами Керівник роботи Фареник Володимир Іванович, Дата реєстрації 03-02-2010 Організація виконавець Науковий фiзико-технологiчний центр Мiнiстерства освiти i науки та НАН України Опис роботи Розробка фізичних основ та встановлення закономірностей синтезу плівок нітридів перехідних металів нанорозмірної товщини за допомогою іонно-плазмових методів у контрольованому вакуумному середовищі для оптимізації процесів отримання нанорозмірних функціональних плівок та наногетероструктур з наперед заданими властивостями. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити