Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0116U002904, Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка технології виготовлення інфрачервоного фотоприймального пристрою спеціального призначення Керівник роботи Кладько Василь Петрович, Дата реєстрації 27-04-2016 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис роботи Розробка технологічної схеми виготовлення координатно-чутливого інфрачервоного фотоприймального пристрою (ІЧ ФПП) на основі антимоніду індію з гранично можливими пороговими параметрами. Загальний план досліджень включає: оптимізацію складу поліруючих травильних композицій для зняття субмікронних шарів в InSb підкладках; виготовлення підкладок InSb з планарною дзеркально-гладкою стехіометричною поверхнею; формування субмікронних p-n-переходів на монокристалічних підкладках InSb методами іонної імплантації; термічний та фотонний відпал іонно-імплантованих шарів; визначення розподілу легуючої домішки та структурної досконалості шарів; моделювання транспортних і фотоелектричних явищ в InSb p-n-переходах та оптимізація структури чутливої області; пасивацію поверхні підкладок формуванням власного оксиду, низькотемпературне осадження захисних шарів; виготовлення зразків координатно-чутливих фотоприймальних пристроїв та атестацію їх основних параметрів та характеристик. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити