Пошук академічних текстів

Реєстраційний номер

0205U006477, 0104U008910 , Науково-дослідна робота

Назва роботи

Багатофункціональна система діагностики наноструктур з використанням багатошарової рентгенівської оптики

Назва етапу роботи

Керівник роботи

Прокопенко Ігор Васильович,

Дата реєстрації

15-11-2005

Організація виконавець

Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України

Опис етапу

Показано, що методи повного зовнішнього відбиття рентгенівських променів дозволяють отримувати параметри поверхні для зразків з різним типом рельєфу. Проведено аналіз можливостей використання багатошарових систем МоВ4С і фулеренових покриттів для створення рентгенівських лінз. Розроблено конструкцію камери квазізамкнутого об'єму з тримачем підкладинки, охолоджуваним через тепловий опір. Отримано криві дифракційного відбивання від плівок нанесених при однакових швидкостях осадження але різних температурах тримача підкладки. Створено макетний зразок рентгенівської лінзи.

Опис продукції

Автори роботи

Додано в НРАТ

2020-04-02