Пошук академічних текстів

Реєстраційний номер

0209U006682, 0106U008683 , Науково-дослідна робота

Назва роботи

Розроблення та виготовлення експериментального зразка високопродуктивної установки для плазмохімічного покриття матеріалів з використанням електронного розпилення

Назва етапу роботи

Керівник роботи

Картмазов Геннадій Миколайович,

Дата реєстрації

23-04-2009

Організація виконавець

Національний науковий центр "Харківський фізико-технічний інститут" НАН України

Опис етапу

Результатом роботи є створення експериментального зразка високопродуктивної установки модульного типу для плазмохімічного покриття матеріалів з використанням електронного розпилення - на базі промислової установки АІР-3 з новим технологічним іонно-плазмовим і діагностичним комплексами. Розроблено та виготовлено дослідно-промисловий зразок системи ВЧ іонізації для електронно-променевих випарників потужністю до 100 кВт, що включає ВЧ генератор з частотою 13,56 мГц, систему для узгодження, індуктор, зондову систему та вимірювальний комплекс з комп'ютерною системою управління та реєстрації результатів виміру. Розроблена перспективна система автоматизованого скануючого зонда для вимірювання просторового розподілу параметрів газометалевої плазми. Розроблено робочу документацію на експериментальний зразок високопродуктивної установки для плазмохімічного покриття матеріалів з використанням електронного розпилення.. Приведено опис типового технологічного процесу, заснованого на гібридному використанні різних пристроїв та вузлів, які складають іонно-плазмовий технологічний комплекс установки.

Опис продукції

Автори роботи

Додано в НРАТ

2020-04-02