Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0211U007032, 0110U001258 , Науково-дослідна робота Назва роботи Синтез нанорозмірних плівок нітридів перехідних металів іонно-плазмовими методами Назва етапу роботи Керівник роботи Фареник Володимир Іванович, Дата реєстрації 18-03-2011 Організація виконавець Науковий фізико-технологічний центр Міністерства освіти і науки та НАН України Опис етапу Розроблено рекомендації щодо компонування іонно-плазмових джерел потоків атомів металів, іонів і активованих частинок складних молекулярних газів та оптимізовано їх параметри у кластерній іонно-плазмовій системі. Здійснено фізичний пуск оптимальної кластерної системи для вивчення характеристик ультратонких плівок нітридів перехідних металів. Отримано експериментальні та теоретичні дані стосовно генерації потоків металів, іонів і хімічно-активних частинок у плазмових джерелах. Опис продукції Синтезовано наноструктури на базі матеріалів електроніки з високими електрофізичними властивостями. Товщина плівок порядку 5 нм. Розроблено методи синтезу ультратонких плівок перехідних металів. Автори роботи Антонов Олександр Володимирович Антонов Павло Володимирович Бабенко Людмила Володимирівна Бовкіс Юлія Антонівна Богодельний Ілля Анатолійович Дробишевська Ганна Олександрівна Заварзін Володимир Васильович Красніков Олег Володимирович Кривонос Володимир Михайлович Молотко Роман В'ячеславович Мороз Віктор Володимирович Різченко Олександр Володимирович Рафальский Дмитро В'ячеславович Рябчун Павло Іванович Сергєєва Наталія Василівна Стервоєдов Андрій Миколайович Сухих Дмитро Юрійович Турчин Максим Павлович Харченко Надія Дмитрівна Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити