Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0213U000658, 0112U007288 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка, виготовлення та поставка 2-х канальної системи напуску газу для вакуумного обладнання Назва етапу роботи Керівник роботи Мельнік Василь Андронович, Дата реєстрації 01-03-2013 Організація виконавець Державне спеціальнеконструкторсько-технологічне бюро фізичного приладобудування з дослідним виробництвом інституту фізики НАН України Опис етапу схема з незалежним побудуванням мережі газового натікання характеризується високими динамічними показниками, більшою точністю підтримання заданих номіналів протоків газу, можливістю повної автоматизації та програмування процесу подачі газів. Опис продукції Побудування мережі газового натікання характеризується високими динамічними показниками, більшою точністю підтримання заданих номіналів протоків газу, можливістю повної автоматизації та програмування процесу подачі газів в вакуумній установці. Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити