Пошук академічних текстів

Реєстраційний номер

0214U001026, 0113U003104 , Науково-дослідна робота

Назва роботи

Розроблення напівпровідникових сенсорів для наукових навчальних приладів

Назва етапу роботи

Керівник роботи

Венгер Євген Федорович,

Дата реєстрації

15-01-2014

Організація виконавець

Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України

Опис етапу

Розроблена технологія та виготовлено термочутливі структури методом термічного осадження Ge в вакуумі на підкладки із GaAs. Розроблена технологія та виготовлено багатошарові металеві контакти до термочутливих елементів. Розроблена технологія корпусування та виготовлені зразки сенсорів температури. Досліджено їх термометричні характеристики в діапазоні температур 2 - 500 К та магнітних полях до 14 Тл при низьких температурах (2,0 та 4,2 К).

Опис продукції

Технологія виготовлення термочутливих структур методом термічного осадження Ge в вакуумі на підкладки із GaAs. Технологія виготовлення багатошарових металевих контактів до термочутливих елементів. Технологія корпусування сенсорів температури. Результати досліджень їх термометричних характеристик в діапазоні температур 2 - 500 К та магнітних полях до 14 Тл при низьких температурах (2,0 та 4,2 К).

Автори роботи

Венгер Євген Федорович
Забродська Олена Сергіївна
Мітін Вадим федорович
Мітін Валентин Вадимович
Неміш Іван Юрійович
Холевчук Володимир Васильович

Додано в НРАТ

2020-04-02