Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0215U003756, 0113U001533 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка технології отримання нанокристалічних оксидних покриттів (ITO, ZnO, TiO2) імпульсним магнетронним і електрохімічним методами. Назва етапу роботи Керівник роботи Зюбанов Олександр Евгенович, Дата реєстрації 23-03-2015 Організація виконавець Донецький національний університет імені Василя Стуса Опис етапу Отримані тонкоплівкові покриття використовуючи новий метод імпульсного магнетронного осадження (ІМО) та досліджена їх криталічна структура та оптичні властивості. Розроблені та апробовані нові імпульсні блоки живлення магнетронів для нанесення оксидних тонкоплівкових покриттів в вакуумі. Встановлено, що суттєвий вплив на провідність плівок цинк оксиду легованого галієм відіграє відпал плівок в вакуумі, а при підвищенні температури підкладки суттєво змінюється ступінь кристалічності оксидного шару (від рентгеноаморфного до текстурованого вдовж напряму <001>) і коефіцієнт оптичного пропускання збільшується від 75% до 85%. Встановлено залежність формування плівок TiOx при ІМО у газовому середовищі Ar (80 %)+O2(20 %) в залежності від рівноважності умов осадження: більш рівноважні умови сприяють формуванню однофазних плівок рутилу, менш рівноважні складаються з рутилу і брукиту. Досліджена кристалічна та дефектна структура плівок ZnO отриманих методом електрохімічного осадження та показано, що легування плівок міддю приводить до збільшення розміру ОКР. Опис продукції Розроблена методика отримання нанокристалічних і аморфних покриттів оксидів металів та карбіду кремнію методом реактивного магнетронного осадження в імпульсному режимі. Для усунення дугоутворення використовувався біполярний режим роботи магнетрону, при якому відбувалась перезарядка поверхні. Проведені дослідження щодо впливу режимів роботи магнетрону (частота, скважність), та умов в вакуумній робочій камері (склад газу, тиск) на характеристики отриманих покриттів. Автори роботи Омельянович Сергій Сергійович Ступак Володимир Аврамович Чертопалов Сергій Васильович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити