Знайдено документів: 1
Керівник: Коваль Вікторія Михайлівна. Технологія синтезу кремнієвих мікро- та наноструктур з високим аспектним відношенням. (Етап: ). Науково-дослідний інститут прикладної електроніки Національного технічного університету України "КПІ". № 0218U003670
Знайдено документів: 1
Оновлено: 2026-03-24
