Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0310U002447, 0109U004114 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розв'язування оберненої задачі еліпсометрії в умовах похибки експерименту Назва етапу роботи Використання оптимізаційних та статистичних методів під час розв'язування оберненої задачі еліпсометрії Керівник роботи Карпуша Василь Данилович, Дата реєстрації 02-04-2010 Організація виконавець Сумський державний університет Опис етапу Мета: отримати адекватну математичну модель вирішення оберненої задачі еліпсометрії. Об'єкт дослідження: обернені задачі. Предмет дослідження: обернена задача еліпсометрії (ОЗЕ). Методи дослідження: спектроеліпсометричний метод Бітті-Кона, статистичний та оптимізаційний методи вирішення ОЗЕ. В роботі запропоновані математичні моделі вирішення ОЗЕ, засновані на використанні оптимізаційних та статистичних методів. Розглянуті умови та межі їх застосування. Оцінена точність наведених підходів до вирішення ОЗЕ. Отримані оптичні характеристики сплавів Ni85C15, Ni40Fe40B20, Ni40Fe50B10. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити