Пошук академічних текстів

Реєстраційний номер

0421U101517, Кандидатська дисертація

Назва роботи

Підвищення якісних характеристик оптичних елементів комбінованою електронно-променевою обробкою

Здобувач

Коваленко Юрій Іванович,

Керівник Антонюк Віктор Степанович
Опонент Хаскін Владислав Юрійович
Опонент Шатрава Олександр Павлович
Рецензент Головко Леонід Федорович
Рецензент Анякін Микола Іванович
Рецензент Данильченко Юрій Михайлович

На здобуття

Кандидат технічних наук, 05.03.07, Процеси фізико-технічної обробки

Дата захисту

27-04-2021

Опис

Дисертація присвячена теоретичному узагальненню і новому розв‘язанню наукової задачі з вдосконалення технології та обладнання для комбінованого електронно-променевого оброблення (поєднання резистивного методу осадження тонких покриттів і електронно-променевого оброблення в одному технологічному циклі) оптичних елементів шляхом застосування автоматизованої системи гнучкого керування режимами оброблення, удосконалення математичних моделей, існуючого та розроблення нового методичного, програмно-апаратного, технічного забезпечення, що дозволяє зменшити мікрошорсткісті поверхні осадженої на неї металевої плівки, підвищити їх механічну міцність, а також визначити діапазон робочих параметрів комбінованої електронно-променевої обробки, що забезпечують її високу якість та ефективність.