Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0494U000548, Кандидатська дисертація На здобуття к.ф.-м.н. Дата захисту 15-04-1994 Статус Запланована Назва роботи Исследование особенностей плазмон-фонного взаимодействия и оптическая диагностика структур на основе GaAs Здобувач Васильковский Сергей Анатольевич, Керівник Тхорик Ю.А. Керівник Тарасов Г.Г. Опонент Валах М.Я. Опонент Вакуленко О.В. Опис Объект исследования: Монокристаллы GaAs, эпитаксиальные структуры GaAs. Цель исследования: Системное изучение влияния свободных носителей и их неоднородного распределения на спектры КРС и ИК отражения. Методы исследования и аппаратура: КРС, ИК отражеие, ФЛ. ДФС-52, ИКС-52. Теоретические результаты и новизна: Получены выражения функции формы линии для "разрешенных" механизмов рассеяния для произвольного волнового вектора. Практические результаты и новизна: Разработан рефлектометрический метод определения профиля. Сфера (область) использования: Предприятия микроэлектроники. Дата реєстрації 1994-04-15 Додано в НРАТ 2020-05-17 Закрити