Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0496U000263, Кандидатська дисертація На здобуття к.ф.-м.н. Дата захисту 18-01-1996 Статус Запланована Назва роботи Исследование микронеоднородностей распределения примесей кислорода и кислородсодержпщих дефектов в монокристаллическом кремнии Здобувач Кабалдин Александр Николаевич, Керівник Шаховцов В.И. Опонент Литовченко П.Г. Опонент Данильченко Б.А. Опис Объект исследования: Микронеоднородности распределения примеси кислорода и кислородсодержащих дефектов в монокристаллическом кремнии. Цель исследования: Определение параметров микроскоплений кислорода и кислородсодержащих дефектов, физическое обоснование новых методов их контроля. Методы исследования и аппаратура: Оптические, фотоэлектрические, электрические и магнитные. Теоретические результаты и новизна: Разработана теоретическая модель влияния асферических микроскоплений и их распределения на процессы переноса заряда. Практические результаты и новизна: Определены параметры микроскоплений кислорода и кислородсодержащих дефектов, обнаружено два типа анизотропии холловской подвижности, эффект магнитной упорядоченности А-центров. Предмет и степень внедрения: Новые методы диагностирования монокристаллического кремния. Эффективность внедрения: Однородный, термостабильный монокристаллический кремний, миниатюризация элементов твердотельной микроэлектроники. Сфера (область) использования: Физика твердого тела, физическая электроника. Дата реєстрації 1996-01-18 Додано в НРАТ 2020-05-17 Закрити