Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0497U001177, Кандидатська дисертація На здобуття к.т.н. Дата захисту 10-06-1997 Статус Запланована Назва роботи Электронно-лучевая обработка поверхности плат оптических интегральных схем Здобувач Канашевич Георгий Викторович, Керівник Дубровская Г.Н. Керівник Котельников Д.И. Опонент Головко Л.Ф. Опонент Ковбасенко С.М. Опис Объект исследования: Плата оптических интегральных схем. Цель исследования: Разработка новой технологии электронно-лучевой обраотки стеклянных плат оптческих интегральных схем, обеспечивающей необходимые характеристики их поверхности. Методы исследования и аппаратура: Математическое моделирование, лазер, ионный обмен, растворение в кислотах, поляриметр-полярископ, интерферометр. Теоретические результаты и новизна: Феноменологическая /описательная/ модель взаимодействия электронного пучка с поверхностным слоем оптического стекла. Исследование характера остаточных напряжений. Практические результаты и новизна: Технология финишной электронно-лучевой обработки оптиче6ского стекла применена для доведения поверхности плат после их механической обработки, разработаны методики исследования стекла после обработки электронным лучем. Предмет и степень внедрения: Промышленное использование. Эффективность внедрения: Получение бездефектных поверхностей плат. Сфера (область) использования: Интегральная оптика. Дата реєстрації 1997-06-10 Додано в НРАТ 2020-05-17 Закрити