Пошук академічних текстів

Реєстраційний номер

0519U000155, Докторська дисертація

Назва роботи

Розвиток методів та засобів атомно-силової мікроскопії для неруйнівного контролю характеристик компонентів мікросистемної техніки

Здобувач

Бондаренко Максим Олексійович, Кандидат технічних наук

Керівник Ващенко В'ячеслав Андрійович
popup.advisor Ващенко В'ячеслав Андрійович
Опонент Квасніков Володимир Павлович
Опонент Петренко Сергій Федорович
Опонент Шевченко Олександр Іванович

На здобуття

Доктор технічних наук, 05.11.13, Прилади і методи контролю та визначення складу речовин

Дата захисту

05-03-2019

Опис

Дисертація присвячена вирішенню важливої науково-технічної проблеми удосконалення існуючих та створення нових методів і засобів атомно-силової мікроскопії для неруйнівного контролю геометричних та механічних характеристик компонентів мікросистемної техніки шляхом застосування автоматизованих систем вимірювання і контролю цих характеристик з урахуванням дії дестабілізуючих факторів, розроблення математичних та експериментально-статистичних моделей, що в цілому представляє собою наукові основи керування якістю процесу контролю на основі методу атомно-силової мікроскопії та дозволяє зменшити відносну похибку на 8 – 11%, збільшити чутливість методу на 17 – 19% та відтворюваність результатів контролю у 2,1 – 2,4 рази, а також збільшити термін експлуатації зонду у 2,6 – 3,5 рази, ймовірність його безвідмовної роботи – на 5 – 10%, зменшити в 1,2 – 3,4 рази швидкість ерозії поверхні, а також визначити діапазон робочих параметрів сканування, що забезпечують стабільну роботу атомно-силового мікроскопу.