Пошук академічних текстів

Реєстраційний номер

0521U101607, Докторська дисертація

Назва роботи

Динаміка та фазові стани макрочастинок в пучково-плазмових системах.

Здобувач

Ромащенко Олена Володимирівна, Кандидат фізико-математичних наук

Керівник Гірка Ігор Олександрович
popup.advisor Гірка Ігор Олександрович
Опонент Маслов Василь Іванович
Опонент Літовко Ірина Валентинівна
Опонент Засенко Володимир Іванович

На здобуття

Доктор фізико-математичних наук, 01.04.08, Фізика плазми

Дата захисту

13-05-2021

Опис

Дисертаційну роботу присвячено теоретичному дослідженню та числовому моделюванню взаємодії макрочастинок з низькотемпературною плазмою низького тиску, в якій присутні пучки електронів чи іонів. Розглянуто процеси заряджання макрочастинки у плазмі з електронним (іонним) пучком, процеси енергетичного обміну між макрочастинкою та плазмою з пучком електронів (іонів), що визначають динаміку та фазові стани макрочастинки у пучково-плазмових системах. Досліджено динаміку та фазові стани макрочастинки у плазмі вакуумно-дугового розряду за умов, що відповідають різним технологічним процесам: вакуумно-дуговому осадженню тонких плівок та плазмовій імерсійній іонній імплантації. У дисертації розкрито питання про методи очищення плазми від макрочастинок. Особливу увагу приділено альтернативним засобам зменшення забруднень макрочастинками покриттів без застосування магнітних фільтрів.