Інформація × Реєстраційний номер 2113U002048, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Thesis Назва роботи Влияние отжига на структуру многослойных пленочных композицій С/Si Автор Дата публікації 01-01-2013 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/43545 Видання Сумский государственный университет Опис Многослойные пленочные композиции C/Si могут использоваться в качестве высокоразрешающих отражающих покрытий для диапазона длин волн 17 – 35 нм. Также эта система эффективна и в других сферах применения – низкотемпературном синтезе карбида кремния и изготовления антифрикционных покрытий. Подробное исследование структурных преобразований в многослойной композиции является важным для всех вышеуказанных сфер. Додано в НРАТ 2025-05-12 Закрити