Search academic texts

Information × Registration Number 0223U001338, 0121U100212 , R & D reports Title Design and production of a Be ion sputtering source and its implementation in an accelerator MVR-2020 popup.stage_title Head Baturin Volodymyr A., к.ф.-м.н. Registration Date 28-01-2023 Organization Institute of Applied Physics National Academy of Sciences of Ukraine popup.description2 Розроблено джерело іонів берилію. Проведена модернізації основних систем іонного імплантера МРВ-202 (вакуумної системи, системи електроживлення та іонно-оптичної системи). Впроваджено джерело іонів берилію в іонний імплантер МРВ-202, та проведені налагодження оптичної системи імплантера. Пучок іонів берилію проведено в приймальну камеру імплантера. Product Description popup.authors Yeryomin Sergiy O. Baturin Volodymyr A. Karpenko Oleksandr Yu Lytvynov Petro O Poenko Oleh Yu popup.nrat_date 2023-01-28 Close