Реєстраційний номер
0223U001338,
0121U100212
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розробка конструкції і виготовлення джерела іонів берилію і його впровадження в прискорювач МВР-202
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Батурін Володимир Андрійович, к.ф.-м.н.
Дата реєстрації
28-01-2023
Організація виконавець
Інститут прикладної фізики Національної академії наук України
Опис етапу
Розроблено джерело іонів берилію. Проведена модернізації основних систем іонного імплантера МРВ-202 (вакуумної системи, системи електроживлення та іонно-оптичної системи). Впроваджено джерело іонів берилію в іонний імплантер МРВ-202, та проведені налагодження оптичної системи імплантера. Пучок іонів берилію проведено в приймальну камеру імплантера.
Опис продукції
Автори роботи
Єрьомін Сергій Олександрович
Батурін Володимир Андрійович
Карпенко Олександр Юрійович
Литвинов Петро Олексійович
Роєнко Олег Юрійович
Додано/оновлено в НРАТ
2023-01-28
