Search academic texts

Registration Number

0223U001338, 0121U100212 , R & D reports

Title

Design and production of a Be ion sputtering source and its implementation in an accelerator MVR-2020

Head

Baturin Volodymyr A., к.ф.-м.н.

Registration Date

28-01-2023

Organization

Institute of Applied Physics National Academy of Sciences of Ukraine

Description

Розроблено джерело іонів берилію. Проведена модернізації основних систем іонного імплантера МРВ-202 (вакуумної системи, системи електроживлення та іонно-оптичної системи). Впроваджено джерело іонів берилію в іонний імплантер МРВ-202, та проведені налагодження оптичної системи імплантера. Пучок іонів берилію проведено в приймальну камеру імплантера.

Product Description

popup.authors

Yeryomin Sergiy O.
Baturin Volodymyr A.
Karpenko Oleksandr Yu
Lytvynov Petro O
Poenko Oleh Yu