Registration Number
0223U001338,
0121U100212
, R & D reports
Title
Design and production of a Be ion sputtering source and its implementation in an accelerator MVR-2020
popup.stage_title
Head
Baturin Volodymyr A., к.ф.-м.н.
Registration Date
28-01-2023
Organization
Institute of Applied Physics National Academy of Sciences of Ukraine
popup.description2
Розроблено джерело іонів берилію. Проведена модернізації основних систем іонного імплантера МРВ-202 (вакуумної системи, системи електроживлення та іонно-оптичної системи). Впроваджено джерело іонів берилію в іонний імплантер МРВ-202, та проведені налагодження оптичної системи імплантера. Пучок іонів берилію проведено в приймальну камеру імплантера.
Product Description
popup.authors
Yeryomin Sergiy O.
Baturin Volodymyr A.
Karpenko Oleksandr Yu
Lytvynov Petro O
Poenko Oleh Yu
popup.nrat_date
2023-01-28
