Пошук академічних текстів

Реєстраційний номер

0223U001338, 0121U100212 , Науково-дослідна робота

Назва роботи

Розробка конструкції і виготовлення джерела іонів берилію і його впровадження в прискорювач МВР-202

Назва етапу роботи

Керівник роботи

Батурін Володимир Андрійович, к.ф.-м.н.

Дата реєстрації

28-01-2023

Організація виконавець

Інститут прикладної фізики Національної академії наук України

Опис етапу

Розроблено джерело іонів берилію. Проведена модернізації основних систем іонного імплантера МРВ-202 (вакуумної системи, системи електроживлення та іонно-оптичної системи). Впроваджено джерело іонів берилію в іонний імплантер МРВ-202, та проведені налагодження оптичної системи імплантера. Пучок іонів берилію проведено в приймальну камеру імплантера.

Опис продукції

Автори роботи

Єрьомін Сергій Олександрович
Батурін Володимир Андрійович
Карпенко Олександр Юрійович
Литвинов Петро Олексійович
Роєнко Олег Юрійович

Додано в НРАТ

2023-01-28