Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0100U003269, ( 0201U003793  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Вивчення вторинно-емісійних, адсорбційних та радіаційних процесів при бомбардуванні твердих тіл іонами середніх енергій стосовно задач мікро- та наноелектроніки Керівник роботи Коваль А.Г., Дата реєстрації 06-07-2000 Організація виконавець Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна Опис роботи Отримання експериментальних відомостей про енергетичні розподіли вторинних іонів, імовірності іонізації частинок, розпилених з поверхні матеріалів з різною електронною структурою, відомостей про початкові стадії адсорбції та хімічної взаємодії на поверхнях багатокомпонентних напівпровідників групи А3В5; відомостей про процеси радіаційних порушень напівпровідникових і діелектричних матеріалів Додано в НРАТ 2024-12-13 Закрити
НДДКР РК
Вивчення вторинно-емісійних, адсорбційних та радіаційних процесів при бомбардуванні твердих тіл іонами середніх енергій стосовно задач мікро- та наноелектроніки
Керівник: Коваль А.Г.. Вивчення вторинно-емісійних, адсорбційних та радіаційних процесів при бомбардуванні твердих тіл іонами середніх енергій стосовно задач мікро- та наноелектроніки. Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна. № 0100U003269
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-14


Роздрукувати цю сторінку