Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0100U003301, ( 0201U003759  0203U002466  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження умов формування потоків заряджених частинок низьких та середніх енергій, методів керування їх параметрами та взаємодії синтезованих потоків з поверхнями твердих тіл Керівник роботи Фареник В.І., Дата реєстрації 06-07-2000 Організація виконавець Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна Опис роботи Дослідження процесів генерації заряджених частинок у комбінованому магнетронному-ВЧ-індукційному та тліючому розрядах низького тиску, методів керування потоками нейтральних та заряджених частинок в умовах роздільної зони генерації плазми і формування потоків та ефектів зародження і зростання трьохвимірових тонкоплівкових структур при взаємодії синтезованих потоків з поверхнею твердого тіла. Додано в НРАТ 2024-12-13 Закрити