Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0100U003842, Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка технології та вакуумного устаткування нового покоління для формування наноструктур методом напилення в вакуумі Керівник роботи Ліхошва В.П., Дата реєстрації 09-08-2000 Організація виконавець Мале Державне Виробничо Впроваджувальне Пiдприємство "ПЛАЗЕР" Опис роботи Розробка автоматизованої вакуумної установки нового покоління для напилення напівпроводнікових, діалектричних та металевих багатошарових плівкових наноструктур Додано в НРАТ 2024-12-13 Закрити
НДДКР РК
Керівник: Ліхошва В.П.. Розробка технології та вакуумного устаткування нового покоління для формування наноструктур методом напилення в вакуумі. Мале Державне Виробничо Впроваджувальне Пiдприємство "ПЛАЗЕР". № 0100U003842
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-18