Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0100U004377, Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження властивостей та службових характеристик покриттів, одержаних з використанням планарного джерела плазми. Керівник роботи Мітін В.Ф., Дата реєстрації 11-10-2000 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис роботи Метою роботи є експериментальне визначення впливу параметрів процесу осадження вакуумно-дугових покриттів, одержуванних з використанням планарного джерела плазми, на їх фізико-хімічні властивості та експлуатаційні характеристики. Додано в НРАТ 2024-12-11 Закрити