Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0101U000421, ( 0204U003573  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Експериментальні дослідження низькотемпературної плазми високочастотних розрядів в галогеновмісних газах Керівник роботи Усталов В.В., Дата реєстрації 07-02-2001 Організація виконавець Інститут ядерних досліджень НАН України Опис роботи Встановити вплив фізичних параметрів (енергії іонів , складу суміші робочого газу та його тиску, густини струму, напруженості магнітного поля і його конфігурації і.т.і.) на масовий склад хімічно активної плазми, яка утворюється в процесах дисоціації молекул в ВЧ розряді та хімічних реакцій при травленні технологічних шарів. Додано в НРАТ 2024-12-11 Закрити