Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0101U002050, ( 0203U008646  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження формування епітаксійних плівок дисиліциду кобальта на кремнії. Керівник роботи Макогон Юрій Миколайович, Дата реєстрації 22-03-2001 Організація виконавець Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського" Опис роботи Дослідити закономірності росту епітаксійних плівок СоSi2 в системі "плівка кобальту на монокристалічному кремнії". Додано в НРАТ 2024-12-11 Закрити
НДДКР РК
Дослідження формування епітаксійних плівок дисиліциду кобальта на кремнії.
Керівник: Макогон Юрій Миколайович. Дослідження формування епітаксійних плівок дисиліциду кобальта на кремнії.. Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського". № 0101U002050
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-17


Роздрукувати цю сторінку