Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0101U004257, Науково-дослідна робота Назва роботи Формування структури і властивості нанокристалічних неорганічних тонких плівок Керівник роботи Фекешгазі Іштван Вінцейович, Дата реєстрації 02-07-2001 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис роботи Розвиток технологій виготовлення нанокристалічних кремнієвих мікроструктур і плівках діоксиду кремнію та багатошарових інтерференційних структур на їх основі методами термічного та електронно-променевого випаровування; дослідження формування структури нанокристалічних кремніївих мікроструктур в плівках діоксиду кремнію при різних технологічних умовах їх виготовлення; структурні, люмінесцентні та КР дослідження квантово-розмірних нанокристалічних кремніївих структур з метою вдосконалення технологій їх виготовлення для використання в оптоелектронних приладах. Додано в НРАТ 2024-12-11 Закрити