Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0101U007040, ( 0206U004110  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Розвиток надвисоковакуумних методів неруйнівного пошарового аналізу наноструктур з моношаровою роздільною здатністю Керівник роботи Васильєв Михайло Олексійович, Дата реєстрації 26-10-2001 Організація виконавець Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Опис роботи Створити комплекс надвисоковакуумної апаратури для неруйнуючої діагностики розподілу широкого спектру фізико-хімічних характеристик в поверхневих шарах і тонких плівках, як кристалічних, так і аморфних за структурою, з роздільною здатністю по глибині до одного моношару. Додано в НРАТ 2024-12-11 Закрити