Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0102U005322, Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження та створення комплексу реакторних модулів для проведення основних технологічних процесів вакуумно-плазмового травлення при виробництві сучасних виробів мікроелектроніки та інтегральних схем Керівник роботи Фареник В.І., Дата реєстрації 05-08-2002 Організація виконавець Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна Опис роботи Створення конкурентоспроможного комплексу іонно-плазмового обладнання та розробка його технологічного забезпечення для радикального, плазмо-хімічного, реактивного іонно-плазмового, реактивного іонно-променевого та іонно-стимульованого травлення металевих, діелектричних, напівпровідникових структур для перспективних виробів мікроелектроники. Додано в НРАТ 2024-12-11 Закрити