Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0103U003587, ( 0205U000976  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка прецизійного вимірювача товщини плівок в процесі їх магнетронного і електронно-променевого осадження Керівник роботи Погорілий Анатолій Миколайович, Дата реєстрації 09-04-2003 Організація виконавець Інститут магнетизму Національної академії наук України та Міністерства освіти і науки України Опис роботи Розробка експериментального зразка кварцового прецизійного вимірювача товщини плівок і швидкості їх осадження в процесі їх вакуумного магнетронного і електронно-променевого осадження Додано в НРАТ 2024-12-11 Закрити