Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0103U006004, Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження і розробка методів отримання рельєфних зображень на скляних підклідках з розмірами елементів 0,3-0,7 мкм в тонких плівках халькогенідних напівпровідників. Керівник роботи Богданова-Борець О.В., Дата реєстрації 11-07-2003 Організація виконавець Ужгородське відділення елементів і структур оптоінформатики Опис роботи Aналіз і вибір негативних та позитивних неорганічних фоторезистів серед халькогенідних склоподібних напівпровідників систем As-S, As-Se, As-S-Se, Ge-As-Se, Ag-As-S, очистка вихідних елементів (S, Se, Ge, As, Ag) від вуглецю, води та мікродомішок металів, синтез стекол на їх основі, вивчення кінетики розчинення стекол в кислотних, лужних та органічних розчинниках і їх сумішах, напилення плівок, опромінення їх лазером 0,4-0,5 мкм та травлення опромінених зон. Додано в НРАТ 2024-12-11 Закрити