Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0104U000417, ( 0207U002635  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження атомних та електронних процесів при формуванні контакту "метал-напівпровідник" в мікроелектроніці Керівник роботи Гермаш Людмила Павлівна, Дата реєстрації 04-02-2004 Організація виконавець Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського" Опис роботи Отримання експериментальних даних щодо атомних та електронних процесів на поверхні напівпровідника та металу при окисленні, дифузії та реакціях, що супроводжують формування контакту метал-напівровідник при впливі підвищених температур та різних газових середовищ Додано в НРАТ 2024-12-11 Закрити