Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0104U002923, Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження умов формування та властивостей надтвердих плівкових наноструктур в системі вуглець - кремній. Керівник роботи Курдюмов О. В., Дата реєстрації 26-04-2004 Організація виконавець Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М.Францевича НАН України Опис роботи Метою даної роботи є розвиток фізичних принципів формування надтвердих плівкових наноструктур з низьким рівнем внутрішніх напружень на прикладі систематичних досліджень залежності складу, структури та властивостей одно- и багатофазних плівок системи C- Si від умов їх осадження методами іонно-плазмової технології. Додано в НРАТ 2024-12-11 Закрити