Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0104U003029, ( 0206U000202  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Наукові основи підвищення точності вимірювання параметрів електронно-променевих технологій отримання надчистого напівпровідникового кремнію Керівник роботи Порєв Володимир Андрійович, Дата реєстрації 01-03-2004 Організація виконавець Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського" Опис роботи Розробка наукових основ підвищення точності вимірювання параметрів електронно-променевих технологій, які застосовуються для отримання надчистого напівпровідникового кремнію та нових матеріалів із заданими властивостями Додано в НРАТ 2024-12-11 Закрити