Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0104U003247, Науково-дослідна робота Назва роботи Формування нанорозмірних плівок NiSi та Mn4Si7 на монокристалічному кремнії Керівник роботи Макогон Юрій Миколайович, Дата реєстрації 11-03-2004 Організація виконавець Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського" Опис роботи Метою проекту є: 1) дослідження умов дифузійного формування стабільної нанорозмірної плівки моносиліциду нікелю на монокристалічному кремнії шляхом використання додаткових шарів, як дифузійних бар"єрів, для оптимізації швидкостей взаємодифузії атомів нікелю та кремнію; 2) дослідження процесів росту епітаксійної плівки Mn4Si7 на монокристалічному кремнії Si(001) під впливом поверхнево-активного елементу Sb та вивчення ії електрофізичних властивостей при різних способах отримання. Додано в НРАТ 2024-12-11 Закрити