Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0104U003422, ( 0207U000314  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка і виготовлення плазмового пристрою з замкненим дрейфом електронів для очищення і модифікації поверхні. Керівник роботи ПТУШИНСЬКИЙ Ю.Г., Дата реєстрації 22-03-2004 Організація виконавець Інститут фізики НАН України Опис роботи Створення низьковольтного плазмового пристрою з замкненим дрейфом електронів для очищення і модифікації поверхні в технологіях нанесення плівок Додано в НРАТ 2024-12-11 Закрити
НДДКР РК
Розробка і виготовлення плазмового пристрою з замкненим дрейфом електронів для очищення і модифікації поверхні.
Керівник: ПТУШИНСЬКИЙ Ю.Г.. Розробка і виготовлення плазмового пристрою з замкненим дрейфом електронів для очищення і модифікації поверхні.. Інститут фізики НАН України. № 0104U003422
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-16


Роздрукувати цю сторінку